Piezoresistive سینسر کی ساخت

اس سینسر میں، ریزسٹر کی پٹی کو مونو کرسٹل لائن سلکان ڈایافرام پر انضمام کے عمل کے ذریعے ایک سلکان پیزورسسٹیو چپ بنانے کے لیے مربوط کیا جاتا ہے، اور اس چپ کے دائرے کو شیل میں طے شدہ طور پر پیک کیا جاتا ہے، اور الیکٹروڈ لیڈز کو باہر نکالا جاتا ہے۔ Piezoresistive پریشر سینسر، جسے سالڈ سٹیٹ پریشر سینسر بھی کہا جاتا ہے، چپکنے والے سٹرین گیج سے مختلف ہے، جس کو لچکدار حساس عناصر کے ذریعے بالواسطہ طور پر بیرونی قوت کو محسوس کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، لیکن وہ براہ راست سلکان ڈایافرام کے ذریعے ناپے ہوئے دباؤ کو محسوس کرتا ہے۔

سلیکون ڈایافرام کا ایک رخ ایک ہائی پریشر گہا ہے جو ناپے ہوئے دباؤ کے ساتھ بات چیت کرتا ہے، اور دوسری طرف کم دباؤ والی گہا ہے جو ماحول کے ساتھ بات چیت کرتی ہے۔ عام طور پر، سلیکون ڈایافرام کو ایک دائرے کے طور پر ڈیزائن کیا جاتا ہے جس میں مقررہ دائرہ ہوتا ہے، اور قطر اور موٹائی کا تناسب تقریباً 20 ~ 60 ہوتا ہے۔ چار P ناپاک مزاحمتی پٹیاں سرکلر سلیکون ڈایافرام پر مقامی طور پر پھیلی ہوئی ہیں اور ایک مکمل پل میں جڑی ہوئی ہیں، جن میں سے دو کمپریسیو اسٹریس زون میں ہیں اور باقی دو ٹینسائل اسٹریس زون میں ہیں، جو ڈایافرام کے مرکز کے حوالے سے ہم آہنگ ہیں۔

اس کے علاوہ، مربع سلکان ڈایافرام اور سلکان کالم سینسر بھی ہیں. سلیکون سلنڈرکل سینسر بھی سلیکون سلنڈر کے کرسٹل ہوائی جہاز کی ایک خاص سمت میں پھیلاؤ کے ذریعہ مزاحمتی پٹیوں سے بنا ہے، اور دو تناؤ کی مزاحمتی سٹرپس اور دو کمپریسیو تناؤ مزاحم سٹرپس ایک مکمل پل بناتے ہیں۔

Piezoresistive sensor ایک ایسا آلہ ہے جو سیمی کنڈکٹر مواد کے piezoresistive اثر کے مطابق سیمی کنڈکٹر میٹریل کے سبسٹریٹ پر بازی مزاحمت سے بنایا جاتا ہے۔ اس کے سبسٹریٹ کو براہ راست پیمائش کرنے والے سینسر کے طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے، اور بازی مزاحمت ایک پل کی شکل میں سبسٹریٹ میں جڑی ہوئی ہے۔

جب سبسٹریٹ بیرونی قوت سے خراب ہو جائے گا تو مزاحمتی قدریں بدل جائیں گی اور پل اسی طرح کی غیر متوازن پیداوار پیدا کرے گا۔ پیزوریزسٹیو سینسر کے طور پر استعمال ہونے والے سبسٹریٹس (یا ڈایافرام) بنیادی طور پر سلکان ویفرز اور جرمینیم ویفرز ہیں۔ حساس مواد کے طور پر سلکان ویفرز سے بنے سلیکون پیزوریزسٹیو سینسرز نے زیادہ سے زیادہ توجہ مبذول کرائی ہے، خاص طور پر دباؤ اور رفتار کی پیمائش کے لیے ٹھوس ریاست کے پیزوریزسٹیو سینسر سب سے زیادہ استعمال ہوتے ہیں۔