عام ریل پریشر سینسر 06E906051K پاسات ایندھن کے لئے قابل اطلاق

1. پریشر سینسر بنانے کا ایک طریقہ ، جس میں شامل ہیں:

سیمیکمڈکٹر سبسٹریٹ فراہم کرنا ، جس میں پہلی انٹیلیئر ڈائی الیکٹرک پرت ، ایک پہلا انٹلیئر ڈائی الیکٹرک پرت اور دوسرا انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت سیمیکمڈکٹر سبسٹریٹ پر تشکیل دی گئی ہے۔

پہلی انٹلیئر ڈائیلیٹرک پرت میں ایک نچلی الیکٹروڈ پلیٹ ، ایک پہلا باہمی الیکٹروڈ جس میں اسی پرت پر واقع ہے جس میں نچلے الیکٹروڈ پلیٹ اور اس کے علاوہ فاصلہ طے کیا جاتا ہے۔

منسلک پرتیں ؛

نچلے قطبی پلیٹ کے اوپر قربانی کی پرت تشکیل دینا ؛

پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت ، پہلی باہمی ربط پرت اور قربانی کی پرت پر اوپری الیکٹروڈ پلیٹ تشکیل دینا۔

قربانی کی پرت کی تشکیل کے بعد اور اوپری پلیٹ بنانے سے پہلے ، پہلی باہمی ربط پرت میں

کنکشن نالی کی تشکیل ، اور پہلی باہمی ربط پرت سے بجلی سے مربوط ہونے کے لئے اوپری پلیٹ کے ساتھ کنکشن نالی کو بھرنا ؛ یا ،

اوپری الیکٹروڈ پلیٹ کی تشکیل کے بعد ، آپس میں جڑنے والی نالیوں کو اوپری الیکٹروڈ پلیٹ اور پہلی باہمی ربط پرت میں تشکیل دیا جاتا ہے ، جو

اوپری الیکٹروڈ پلیٹ اور کنکشن نالی میں پہلی باہمی ربط پرت کو جوڑنے والی ایک کنڈکٹو پرت کی تشکیل ؛

الیکٹرک طور پر اوپری پلیٹ اور پہلی باہمی ربط کی پرت کو مربوط کرنے کے بعد ، گہا بنانے کے لئے قربانی کی پرت کو ہٹانا۔

2. دعوی 1 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ ، جس میں پہلی پرت میں

انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت پر قربانی کی پرت کی تشکیل کا طریقہ مندرجہ ذیل اقدامات پر مشتمل ہے:

پہلی انٹرلیئر ڈائیلیٹرک پرت پر قربانی کے مادی پرت جمع کرنا ؛

قربانی کی پرت بنانے کے لئے قربانی کے مادی پرت کا نمونہ کرنا۔

3. دعوے 2 ​​کے مطابق پریشر سینسر کی تشکیل کا طریقہ ، جس میں فوٹوولیتھوگرافی اور کندہ کاری استعمال کی جاتی ہے۔

قربانی کے مادی پرت کو اینچنگ کے عمل سے نمونہ بنایا گیا ہے۔

4. دعوی 3 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ ، جس میں قربانی کی پرت

یہ مواد بے ساختہ کاربن یا جرمینیم ہے۔

5. دعوی 4 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ ، جس میں قربانی کی پرت

مواد بے ساختہ کاربن ہے۔

قربانی کے مادی پرت کو کھڑا کرنے کے عمل میں استعمال ہونے والی گیسوں کو اینچنگ میں O2 ، CO ، N2 اور AR شامل ہیں۔

قربانی کے مادی پرت کو کھینچنے کے عمل میں پیرامیٹرز یہ ہیں: O2 کی بہاؤ کی حد 18 SCCM ~ 22 SCCM ہے ، اور CO کی بہاؤ کی شرح 10 ٪ ہے۔

بہاؤ کی شرح 90 ایس سی سی ایم سے 110 ایس سی سی ایم تک ہوتی ہے ، این 2 کی بہاؤ کی شرح 90 ایس سی سی ایم سے 110 ایس سی سی ایم تک ہوتی ہے ، اور اے آر کی بہاؤ کی شرح۔

رینج 90 ایس سی سی ایم ~ 110 ایس سی سی ایم ہے ، دباؤ کی حد 90 ایم ٹی او آر ~ 110 ایم ٹی او آر ہے ، اور تعصب کی طاقت ہے

540W ～ 660W。