Passat ایندھن کامن ریل پریشر سینسر 06E906051K پر لاگو

1. پریشر سینسر بنانے کا طریقہ جس میں شامل ہیں:

سیمی کنڈکٹر سبسٹریٹ فراہم کرنا، جس میں سیمی کنڈکٹر سبسٹریٹ پر پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت، پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت اور دوسری انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت بنتی ہے۔

پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت میں ایک نچلی الیکٹروڈ پلیٹ، ایک پہلا باہمی الیکٹروڈ اسی پرت پر واقع ہے جس پر نچلی الیکٹروڈ پلیٹ ہوتی ہے اور الگ الگ ہوتی ہے۔

منسلک تہوں؛

نچلے قطبی پلیٹ کے اوپر قربانی کی تہہ بنانا؛

پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت، پہلی انٹر کنکشن پرت اور قربانی کی پرت پر اوپری الیکٹروڈ پلیٹ بنانا؛

قربانی کی تہہ بنانے کے بعد اور اوپری پلیٹ بنانے سے پہلے، پہلی باہم مربوط تہہ میں

کنکشن کی نالی بنانا، اور کنکشن کی نالی کو اوپری پلیٹ سے بھرنا تاکہ پہلی انٹرکنکشن پرت سے برقی طور پر جڑا جا سکے۔ یا،

اوپری الیکٹروڈ پلیٹ بنانے کے بعد، اوپری الیکٹروڈ پلیٹ میں کنیکٹنگ گرووز بنتے ہیں اور پہلی انٹر کنکشن پرت، جو

کنکشن نالی میں اوپری الیکٹروڈ پلیٹ اور پہلی انٹرکنکشن پرت کو جوڑنے والی ایک کنڈکٹیو پرت بنانا؛

اوپری پلیٹ اور پہلی انٹرکنکشن پرت کو برقی طور پر جوڑنے کے بعد، قربانی کی تہہ کو ہٹا کر گہا بنانا۔

2. دعویٰ 1 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ، جس میں پہلی پرت ہے۔

انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت پر قربانی کی پرت بنانے کا طریقہ درج ذیل مراحل پر مشتمل ہے:

پہلی انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک پرت پر قربانی کے مواد کی تہہ جمع کرنا؛

قربانی کے مواد کی پرت کو قربانی کی تہہ بنانے کے لیے نمونہ بنانا۔

3. دعوے 2 ​​کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ، جس میں فوٹو لیتھوگرافی اور کندہ کاری کا استعمال کیا جاتا ہے۔

قربانی کے مواد کی پرت کو اینچنگ کے عمل سے نمونہ بنایا گیا ہے۔

4. دعویٰ 3 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ، جس میں قربانی کی پرت

مواد بے ساختہ کاربن یا جرمینیم ہے۔

5. دعویٰ 4 کے مطابق پریشر سینسر بنانے کا طریقہ، جس میں قربانی کی پرت

مواد بے ساختہ کاربن ہے۔

قربانی کے مواد کی تہہ کو اینچ کرنے کے عمل میں استعمال ہونے والی اینچنگ گیسوں میں O2، CO، N2 اور Ar شامل ہیں۔

قربانی کے مواد کی تہہ کو اینچ کرنے کے عمل کے پیرامیٹرز یہ ہیں: O2 کے بہاؤ کی حد 18 SCCM ~ 22 SCCM ہے، اور CO کے بہاؤ کی شرح 10% ہے۔

بہاؤ کی شرح 90 SCCM سے 110 SCCM تک، N2 کی بہاؤ کی شرح 90 SCCM سے 110 SCCM تک، اور Ar کے بہاؤ کی شرح ہے۔

حد 90 SCCM ~ 110 SCCM ہے، دباؤ کی حد 90 mtor ~ 110 mtor ہے، اور تعصب کی طاقت ہے

540w ~ 660w۔