کارٹر ایکسویٹر کے لیے انجن پریشر سینسر 2CP3-68 1946725

پریشر سینسر کی تیاری کا ایک طریقہ، جس میں درج ذیل مراحل شامل ہیں:

S1، پچھلی سطح اور سامنے کی سطح کے ساتھ ویفر فراہم کرنا۔ ویفر کی اگلی سطح پر ایک پیزوریزسٹیو پٹی اور ایک بھاری ڈوپڈ رابطہ ایریا بنانا؛ ویفر کی پچھلی سطح کو کھینچ کر دباؤ والی گہری گہا بنانا؛

S2، ویفر کی پشت پر ایک سپورٹ شیٹ باندھنا؛

S3، ویفر کے سامنے والے حصے میں سیسہ کے سوراخ اور دھاتی تاروں کو تیار کرنا، اور پیزوریزسٹیو سٹرپس کو جوڑ کر وہیٹ اسٹون پل بنانا؛

S4، ویفر کی اگلی سطح پر ایک پاسیویشن پرت کو جمع کرنا اور بنانا، اور دھاتی پیڈ ایریا بنانے کے لیے پاسیویشن پرت کا حصہ کھولنا۔ 2. کلیم 1 کے مطابق پریشر سینسر کی تیاری کا طریقہ، جس میں S1 خاص طور پر درج ذیل مراحل پر مشتمل ہے: S11: پچھلی سطح اور سامنے کی سطح کے ساتھ ویفر فراہم کرنا، اور ویفر پر دباؤ سے حساس فلم کی موٹائی کی وضاحت؛ S12: آئن امپلانٹیشن کو ویفر کی اگلی سطح پر استعمال کیا جاتا ہے، پیزوریزسٹیو سٹرپس اعلی درجہ حرارت کے پھیلاؤ کے عمل کے ذریعے تیار کی جاتی ہیں، اور رابطے والے علاقوں کو بہت زیادہ ڈوپ کیا جاتا ہے۔ S13: ویفر کی اگلی سطح پر حفاظتی تہہ جمع کرنا اور بنانا؛ S14: دباؤ سے حساس فلم بنانے کے لیے ویفر کی پشت پر دباؤ والی گہری گہا کو کھینچنا اور بنانا۔ 3. کلیم 1 کے مطابق پریشر سینسر کی تیاری کا طریقہ، جس میں ویفر SOI ہے۔

1962 میں، Tufte et al. نے پہلی بار ڈفیوزڈ سلیکون پیزوریزسٹیو سٹرپس اور سلیکون فلم کے ڈھانچے کے ساتھ ایک پیزوریزسٹیو پریشر سینسر تیار کیا، اور پیزوریزسٹیو پریشر سینسر پر تحقیق کا آغاز کیا۔ 1960 کی دہائی کے آخر اور 1970 کی دہائی کے اوائل میں، تین ٹیکنالوجیز کی ظاہری شکل، یعنی سیلیکون اینیسوٹروپک ایچنگ ٹیکنالوجی، آئن امپلانٹیشن ٹیکنالوجی اور اینوڈک بانڈنگ ٹیکنالوجی، نے پریشر سینسر میں بڑی تبدیلیاں لائیں، جس نے پریشر سینسر کی کارکردگی کو بہتر بنانے میں اہم کردار ادا کیا۔ . 1980 کی دہائی سے، مائیکرو مشیننگ ٹیکنالوجی کی مزید ترقی کے ساتھ، جیسے اینیسوٹروپک ایچنگ، لیتھوگرافی، ڈفیوژن ڈوپنگ، آئن امپلانٹیشن، بانڈنگ اور کوٹنگ، پریشر سینسر کے سائز کو مسلسل کم کیا گیا ہے، حساسیت کو بہتر بنایا گیا ہے، اور آؤٹ پٹ زیادہ ہے۔ کارکردگی شاندار ہے. ایک ہی وقت میں، نئی مائیکرو مشیننگ ٹیکنالوجی کی ترقی اور اطلاق دباؤ سینسر کی فلم کی موٹائی کو درست طریقے سے کنٹرول کرتا ہے۔