انجن پریشر سینسر 2CP3-68 1946725 کارٹر کھدائی کرنے والے کے لئے

پریشر سینسر کی تیاری کا ایک طریقہ ، مندرجہ ذیل اقدامات پر مشتمل خصوصیات کی خصوصیت:

S1 ، پچھلی سطح اور اگلی سطح کے ساتھ ایک ویفر فراہم کرنا ؛ ویفر کی اگلی سطح پر ایک پیزورسیسٹیٹو پٹی اور بھاری ڈوپڈ رابطے کا علاقہ تشکیل دینا۔ ویفر کی پچھلی سطح کو کھڑا کرکے دباؤ گہری گہا تشکیل دینا ؛

ایس 2 ، ویفر کے پچھلے حصے پر ایک سپورٹ شیٹ کا پابند کرنا ؛

ایس 3 ، ویفر کے اگلے حصے میں لیڈ ہولز اور دھات کی تاروں کی تیاری ، اور پیزورسٹیٹو سٹرپس کو ایک وہٹ اسٹون پل بنانے کے لئے مربوط کرنا۔

S4 ، ویفر کی اگلی سطح پر ایک گزرنے والی پرت جمع کرنا اور تشکیل دینا ، اور دھات کے پیڈ کے علاقے کی تشکیل کے ل passives پاسیوٹیشن پرت کا حصہ کھولنے کے لئے۔ 2. دعوے 1 کے مطابق پریشر سینسر کی تیاری کا طریقہ ، جس میں S1 خاص طور پر درج ذیل مراحل پر مشتمل ہوتا ہے: S11: پچھلی سطح اور اگلی سطح کے ساتھ ایک ویفر فراہم کرنا ، اور ویفر پر پریشر حساس فلم کی موٹائی کی وضاحت ؛ S12: آئن امپلانٹیشن کو ویفر کی اگلی سطح پر استعمال کیا جاتا ہے ، پیزورسیسٹیٹو سٹرپس اعلی درجہ حرارت بازی کے عمل کے ذریعہ تیار کی جاتی ہیں ، اور رابطے والے علاقوں کو بہت زیادہ ڈوپ کیا جاتا ہے۔ S13: ویفر کی اگلی سطح پر حفاظتی پرت جمع کرنا اور تشکیل دینا ؛ S14: دباؤ حساس فلم بنانے کے لئے ویفر کے پچھلے حصے پر دباؤ گہری گہا کی کھوج لگانا اور تشکیل دینا۔ 3. دعوے 1 کے مطابق پریشر سینسر کی تیاری کا طریقہ ، جس میں ویفر سوئی ہے۔

1962 میں ، ٹوفٹ ایٹ ال۔ پہلی بار پھیلی ہوئی سلیکن پیزورسیسٹو سٹرپس اور سلیکن فلمی ڈھانچے کے ساتھ ایک پیزورسیسٹیو پریشر سینسر تیار کیا ، اور پیزورسٹیو پریشر سینسر پر تحقیق کا آغاز کیا۔ 1960 کی دہائی کے آخر اور 1970 کی دہائی کے اوائل میں ، تین ٹیکنالوجیز ، یعنی سلیکن انیسوٹروپک اینچنگ ٹکنالوجی ، آئن امپلانٹیشن ٹکنالوجی اور انوڈک بانڈنگ ٹکنالوجی کی ظاہری شکل نے پریشر سینسر میں بڑی تبدیلیاں لائیں ، جس نے پریشر سینسر کی کارکردگی کو بہتر بنانے میں ایک اہم کردار ادا کیا۔ 1980 کی دہائی سے ، مائکرو میکیننگ ٹکنالوجی کی مزید ترقی کے ساتھ ، جیسے انیسوٹروپک اینچنگ ، ​​لتھوگرافی ، بازی ڈوپنگ ، آئن امپلانٹیشن ، بانڈنگ اور کوٹنگ ، پریشر سینسر کا سائز مسلسل کم کیا گیا ہے ، حساسیت کو بہتر بنایا گیا ہے ، اور پیداوار زیادہ ہے اور کارکردگی بہترین ہے۔ ایک ہی وقت میں ، نئی مائکرووماچیننگ ٹکنالوجی کی ترقی اور اطلاق فلم کو دباؤ سینسر کی موٹائی کو درست طریقے سے کنٹرول کرتا ہے۔